微电子制造科学原理与工程技术(第2版英文版)


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收藏	微电子制造科学原理与工程技术(第2版英文版) 作者:Stephen,ACampbell,SA著, 分类:电子工程人气: 装帧:平装(无盘) / 235×184×24毫米 / 628页 / 0字 ISBN(10位/13位):7505386263 出版:电子工业出版社于2003-04- 1出版定价:¥56元标签(Tags):计算机工业技术电子工程电子收藏人数：

简介:

第1篇综述与题材
第1章微电子制造引论
第2章半导体衬底
第2篇单项工艺1：热处理和离子注入
第3章诉散
第4章热氧化
第5章离子注入
第6章快速热处理
第3篇单元工艺2：图形转移
第7章光学光刻
第8章光刻胶
第9章非光学光刻技术
第10章真空科学和等离子体
第11章刻蚀
第4篇单项工艺3：薄膜
第12章物理演积：蒸发和溅射
第13章化学气相淀积
第14章外延生长
第5篇工艺集成
第15章器件隔离、接触和金属化
第16章 CMOS技术
第17章 GaAs工艺技术
第18章硅双极型工艺技术
第19章微机电系统
第20章集成电路制造
附录1 缩写与通用符号
附录2 部分半导体材料性质
附录3 物理常数
附录4 单位转换因子
附录5 误差函数的一些性质
附录6 F数
附录7 SUPREM指令

内容摘要:

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